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中科飞测：纳米图形晶圆缺陷检测设备 关键尺寸量测设备的研发进展顺利
中科飞测近期接受投资者调研时称，纳米图形晶圆缺陷检测设备、关键尺寸量测设备的研发正按计划进行，研发进展顺利。
文章转载自：界面新闻网 非本站原创
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