天准科技：28nm节点检测设备正在研发中

天准科技9月6日在互动平台表示，近日，天准科技参股的苏州矽行半导体覆盖65-90nm节点的明场缺陷检测设备正式交付客户试用，28nm节点检测设备正在研发中。

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